Fordele:
Denne pumpeserie er god til ydeevne under barske omgivelser (høj temperatur, støv osv.), Stabil i ydeevne og med lang levetid og enkel vedligeholdelse og bekvem betjening.
Ansøgninger:
Hovedapplikationer er inden for industriel lækagedetektion, PVD, CVD, ionimplantation, vakuumelektroniske komponenter, lav-E-glas, ITO-glas, optisk belægning, solceller, elektronstrålesvejsning, vakuumovn og andre industrier
Specifikationer:
Flange (ind) | DN400 ISO-K | Gas i hele (sccm) | N2: 5500 |
Flange (Ud) KF | DN100 | Han: 4000 | |
Pumpehastighed (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Han: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Rotationshastighed (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Opstartstid (min.) | ≤18 | |
Kompressions forhold | N2: 108 | Køletype, standard | Vand |
Han: 103 | Kølevandforbrug (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Kølevandstemperatur (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Strømtilslutning: Spænding (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultimeret tryk (Pa) | 6 × 10-6 | Maks. Strømforbrug (W) | ≤1100 |
Maks. Kontinuerligt for-vakuumtryk (Pa) | 100 | Controller -model | FD-III |
Maks. For-vakuumtryk | N2: 300 | Vægt (kg) | 130 |